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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

簡要描述:TruPlasma Bipolar 4010等離子電源新一代雙極性脈沖發(fā)生器
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專為借助 PVD、PECVD 和反應(yīng)濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術(shù)而開發(fā);在太陽能電池與半導(dǎo)體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中,其憑借靈活可塑的輸出信號的電弧管理提供出色結(jié)果。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-01-28
  • 訪  問  量:3269

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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

新一代雙極性脈沖發(fā)生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專為借助 PVD、PECVD 和反應(yīng)濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術(shù)而開發(fā);在太陽能電池與半導(dǎo)體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中,其憑借靈活可塑的輸出信號和的電弧管理提供出色結(jié)果。

極低電弧能量

全數(shù)字化電弧管理確保出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

可調(diào)波形

通過輸出信號變化輕松適配不同工藝。

一臺發(fā)生器,多種用途

直流電、被動脈沖式直流電和雙極脈沖:得益于多種調(diào)整選項可節(jié)約成本。

集成的水冷

無需外部部件,因此空間需求極低。

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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源

頂級供電系統(tǒng)

典型應(yīng)用領(lǐng)域為半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)、建筑玻璃涂層以及質(zhì)量頂尖的裝飾性耐磨涂層制造。此外可特別用于 PVD (物理氣相沉積)和 PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)。



涂層、提高生產(chǎn)效率

具有極少電弧能量的全數(shù)字化電弧管理實現(xiàn)較高的涂層質(zhì)量和沉積速率。即使在要求嚴(yán)苛的反應(yīng)工藝中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始終確保穩(wěn)定的工藝電源,從而保障穩(wěn)定的等離子體狀態(tài)。

通過靈活選擇輸出信號可多樣化使用

靈活度更高、成本更低

憑借可調(diào)波形,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列電源能夠相當(dāng)輕松地適配不同工藝要求。得益于輸出信號的靈活選擇(直流電、被動脈沖式直流電或雙極脈沖),可多樣化使用該電源,因此有助于降低總體運行成本 (TCO)。

TruPlasma Bipolar 4060 雙極電源

全部集成于一個外殼之中

由于水冷裝置完整集成于不受環(huán)境影響的發(fā)生器殼體內(nèi),因此無需外部部件。


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